简介

       畅联FDD异常检测与诊断系统，能够处理每秒百万级测点的数据采集和实时处理，构建实现数以万计关键工艺测点的实时状态监测，并基于机理模型构建实时的上下文条件来定义更动态的控制门限。

       支持在线的统计过程控制和多维度的异常检测，支持通过机器学习构建工艺指标和监测指标之间的模型，实现虚拟量测，支持通过机器学习实现自动的根因分析，更支持多维度的指标预测和预警。

价值体现

异常检测与诊断系统

故障检测与分类FDC

       对于生产中需要监控的各种关键指标，根据指标的各种特征，设定相应的监控策略，并对违背策略的异常进行告警。

统计过程控制SPC

       根据历史数据，计算Cp/Cpk进行一致性评估；基于规则和历史数据，设定指标和控制门限(SL/CL)，并应用于关键结果的在线监测。

根因分析RCA

       基于历史数据的机器学习和预制的关联拓扑，自动构建输入指标和输出结果之间的关联模型，并在结果异常的时候自动计算不同贡献因子的权重。

虚拟量测VM

       基于工艺数据和检测数据的机器学习，可构建工艺数据与检测数据之间跨时间维度的映射关系，实现基于实时工艺数据预测滞后的检测。